多功能超高真空高频除气系统的研制

摘要：

通过介绍一台超高真空高频加热系统的研制过程,探讨了该类系统在设计制造中的难点和解决方案.

关键词：超高真空、高频、除气

分类号：TN107(真空电子技术)

在线出版日期：2012-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：66-68