高耐温精密冷反光镜研制

摘要：

高耐温精密冷反光镜是应用于影像光学系统的一种常用光学元件,它具有高耐温性、反射可见光、透射红外光的特点.本文介绍了采用低膨胀系数的高耐温性基底材料,利用电子束热蒸发物理气相沉积镀膜方法及离子辅助沉积工艺,制备出了可见光光谱平均反射率高于95%、红外光光谱平均透过率高于85%,膜层耐温性能达到450℃高温下膜层无异常的反光镜产品,并实现了批量生产.

关键词：冷反光镜、离子辅助沉积、真空镀膜、高耐温性

分类号：TN216(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2011-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：47-50