集成真空电子学

摘要：

本文简述了集成真空电子学的基本概念和研究内容,综述了国内外集成真空电子学,利用微加工的太赫兹真空器件的发展状况,对相关的技术进行了分析和评述.

关键词：太赫兹、集成真空电子学、微加工、真空微电子学、微波管、LIGA技术

分类号：TN101(真空电子技术)

在线出版日期：2010-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7