微通道板质量污染对二代倒像微光管性能的影响

摘要：

为解决二代微光倒像管研究中制管合格率低问题,对微通道板处理过程工艺质量和放气成分进行分析.结果表明,微通道板质量不合格、表面污染、性能一致性差是造成器件阴极灵敏度低、视场暗斑、分辨率低、背景大的主要因素.对其采用清洗,无油真空炉处理工艺,消除了工艺过程对微通道板的污染,研制成功了总体性能全面合格的二代倒像微光管.

关键词：微通道板、质量污染、倒像微光管

分类号：TN105(真空电子技术)

在线出版日期：2009-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：34-36