用残余气体分析仪测量和计算分压强

摘要：

残余气体分析仪可以得到真空系统残余气体的质谱图,并给出各个质荷比峰的离子流值,但不能直接测量残余气体中各组分气体的分压强.在考虑到组分气体对某个峰的贡献可以线性叠加的基础上,本文介绍了峰的离子流与分压强、仪器灵敏度、传输几率和丰度之间的关系,从而得到了利用RGA质谱峰的离子流计算残余气体分压的公式.

关键词：残余气体分析、离子流、分压强

分类号：TN107(真空电子技术)

在线出版日期：2009-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：16-17,21