钍钨阴极碳化工艺的研究与应用

摘要：

介绍一种微波炉用连续波磁控管钍钨阴极的碳化工艺过程及碳化的方法,利用新的碳化工艺方法来控制碳化层厚度,选择合适的碳化层厚度,得到了长寿命高可靠的阴极.

关键词：碳化工艺过程、碳化层厚度

分类号：TN123(真空电子技术)

在线出版日期：2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：44-46