SED的磁控溅射法制作技术试验研究

摘要：

介绍了表面传导电子发射显示(SED),采取了一种使用PdO膜和ZnO膜磁控溅射制作SED的方法,它具有发射均匀的优点.SED器件的电极厚度、导电膜材料、导电膜宽度对发射性能有很大影响,文中对这些参数进行了讨论.通过参数的优化,得到了稳定、均匀的电子发射.

关键词：表面传导电子发射显示器、磁控溅射、导电膜

分类号：TN104.3(真空电子技术)

在线出版日期：2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33