真空氦质谱检漏原理与方法综述

摘要：

介绍了真空氦质谱检漏技术的工作原理,综述了检漏技术的新方法,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法和实际应用.较全面地总结了真空氦质谱检漏技术的原理与方法.

关键词：检漏、氦质谱检漏仪、真空、试件

分类号：TN107(真空电子技术)

在线出版日期：2008-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：62-65