沉积温度对碳膜结构及其场发射特性的影响

摘要：

利用微波等离子体化学气相沉积法在覆盖金属钛层的陶瓷衬底上,利用改变衬底温度方法沉积不同结构的碳膜.通过扫描电子显微镜、拉曼光谱对碳膜进行了分析测试,并研究了不同衬底温度下沉积的碳膜的场致电子发射特性.对于在衬底温度800℃时制备的碳膜,在电场3.3 V/μm时,最大场发射电流密度达1 mA/cm2.

关键词：微波等离子体化学气相沉积、场致电子发射、金刚石聚晶

分类号：TB383;O484(工程材料学)

在线出版日期：2008-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：59-61