真空控制系统的发展现状

摘要：

主要介绍真空应用设备中可视化界面控制的发展概况.回顾了真空控制系统的发展历程,以几个典型界面为例,介绍了国内外有关真空设备可视化界面控制发展概况,分析了其控制特点,并对真空应用系统可视化控制界面的未来发展提出了自己的看法.

关键词：可视化控制界面、真空获得系统、真空应用设备、可编程控制器

分类号：TB753(真空技术)

在线出版日期：2007-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：19-22