10.3969/j.issn.1002-8935.2007.01.016
MOCVD系统的气体流量自动控制研究
研究了金属有机物化学气相沉积(MOCVD)系统中气体流量的自动控制方法.研究分析了基于质量流量控制器、可编程序控制器和触摸屏的自动控制系统气体流量自动控制方法.该方法提高了MOCVD系统的自动化控制水平,确保了工艺的重复性和稳定性,使得MOCVD系统气体流量控制水平有显著提高.
金属有机物化学气相沉积、质量流量控制器、可编程序控制器、触摸屏
TP273(自动化技术及设备)
2007-06-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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