聚合物前驱体转化法制备陶瓷微机电系统

摘要：

陶瓷材料作为一种在高温和腐蚀等苛刻环境中应用的重要材料,对其制备和加工技术进行研究是非常必要的.本文在简要概述传统微机电系统(MEMS)加工技术对制备陶瓷MEMS存在的不足基础上,着重介绍了由聚合物前驱体转化法制备陶瓷MEMS的制备方法、工艺流程、优缺点及未来发展方向.

关键词：微机电系统、微加工技术、聚合物前驱体、陶瓷

分类号：TQ050.4;TM38(一般性问题)

资助基金：国家自然科学基金20574056;西北工业大学校科研和教改项目Z200663

在线出版日期：2007-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：41-44,50