新型大规模三维均匀低温等离子源理论及设计

摘要：

给出了一种新型大规模三维均匀低温等离子源的工作原理、设计参数和具体实现方案.它使传统感应等离子源由二维均匀转变为三维均匀成为可能,为新型大规模集成芯片加工设备--等离子铣提供了必要的理论及技术准备.

关键词：横向磁化、三维均匀、等离子源

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金60371022

在线出版日期：2006-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：17-20