印刷碳纳米管薄膜场发射失效行为研究

摘要：

对基于印刷碳纳米管(CNT)薄膜的场发射器件的失效行为进行了研究.微观分析结果表明,器件失效主要是由真空击穿对CNT和导电衬底造成损坏所引起的.印刷CNT薄膜中存在的CNT团聚颗粒所造成的正反馈的发热和电流增加导致了真空击穿的发生.通过在真空室中对印刷CNT薄膜进行场发射条件下的老炼处理,有效地预防了真空击穿的发生,并使薄膜的场发射均匀性得到提高,证实了真空老炼对预防真空击穿和提高器件工作可靠性的作用.

关键词：丝网印刷、碳纳米管薄膜、场致发射、失效行为、老炼、可靠性

分类号：TN27;O462.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划60036010;60276037;国家科技攻关项目2001AA313090;高等学校博士学科点专项科研项目20020698014

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：68-71