具有微小栅极孔径的场发射阴极的模拟

摘要：

利用有限元方法计算了具有微小栅极孔径的Spindt结构场发射阴极在不同栅极形状、孔径、电压下的电场分布和电子轨迹,并根据电子运动轨迹计算了场发射电子束的发散角和发射效率.计算结果表明微小栅极孔径可以有效减小场发射电子束的发散,同时通过调整栅极的形状可以获得较高的场发射效率.

关键词：场发射、发散角、发射效率、有限元方法

分类号：O462(真空电子学（电子物理学）)

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：54-57