10.3969/j.issn.1002-8935.2005.06.012
以低价态钛氧化物制备TiO2薄膜研究
试验以Ti2O3,Ti3O5和TiO2作为初始膜料,在ZZS700-6/G型真空镀膜机上采用O2-离子束辅助蒸发制备氧化钛薄膜.用XRD检测方法确定各种膜料和薄膜的相成分,并全面地分析了各种膜料的蒸发特性和薄膜;用分光光度计测量薄膜的透射率,并分析薄膜的光学性能.试验表明,在采用Ti2O3,Ti3O5和TiO2作为蒸发制备氧化钛薄膜时,钛的氧化物中存在Ti3O5固态同一蒸发相;各种膜料在蒸发时,发生分解,熔池中的物质成分逐渐转变成同一蒸发相成分,最终完全转变成同一蒸发相.
Ti2O3、Ti3O5、TiO2、氧化钛薄膜、蒸发镀膜、同一蒸发相
O484(固体物理学)
2006-03-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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