新型多弧离子镀膜机自动控制系统

摘要：

利用工控机(IIC)和PLC研制成了新型多弧离子镀膜机自动控制系统,该控制系统可以实现镀膜工艺过程的自动控制.工控机设定技术参数后进入监控状态,实时监测控制PLC的工作状态;PLC控制现场设备的运行,并将现场各泵阀等设备的工作状态传给工控机.系统可靠性高,人机交互好,实现了多弧离子镀膜的自动控制.

关键词：镀膜机、PLC、工控机、协议宏

分类号：TP27(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：19-23