BeO瓷的金属化和封接

摘要：

综述了氧化铍瓷的金属化及其封接技术,指出氧化铍瓷和Al2O3瓷在金属化工艺上的差异,论文最后汇集了国内外常用烧结金属粉末法15种配方和工艺参数,以资同行专家参考.

关键词：氧化铍瓷、陶瓷金属化、物理气相沉积、活化钼-锰法

分类号：TB756(真空技术)

在线出版日期：2005-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：61-64