掺铒Al2O3薄膜的性能与制备

摘要：

简述了几种Al2O3薄膜的制备方法,使用中频孪生靶非平衡磁控溅射系统制备了掺铒Al2O3薄膜,并对其进行检测,结果表明该方法制备的薄膜适于制作光纤放大器.

关键词：掺铒、Al2O3薄膜、光致发光、中频、磁控溅射

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA338010

在线出版日期：2005-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：11-14,18