非晶硅薄膜光吸收系数的研究

摘要：

用化学气相沉积法制备非晶硅薄膜,测量了样品的光吸收系数及其波长区域范围.测得在最佳工艺条件下,非晶硅薄膜的光吸收系数随入射光波长增大而减小,随衬底温度升高而增大,随射频功率和反应气体流量的增大而减小,在700 nm附近的光吸收系数不低于1×103 cm-1,满足高性能液晶光阀对光电导层的性能要求.

关键词：非晶硅、光吸收系数、波长范围

分类号：O484.1(固体物理学)

在线出版日期：2004-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：20-22