环境扫描电子显微镜工作原理及实现

摘要：

系统介绍了环境扫描电子显微镜(ESEM)的研制历程和采用的关键技术.从常规扫描电子显微镜(SEM)的基本工作原理出发,列出了SEM成像信号产生的方式及特点.针对SEM在实际应用中暴露出的缺陷,ESEM提出了解决问题的措施.多重狭缝的采用,使样品室内压强可以大幅提高;而气体二次电子探头(GSED)的发明,使作为成像信号的二次电子信号得到加强.

关键词：环境扫描电子显微镜(ESEM)、多重狭缝、成像信号、二次电子、ET探头、环境二次电子探头、气体二次电子探头

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-32