射频微机电系统的军用潜力、开发现状及发展战略研究

摘要：

从固态微波应用中的潜在优势出发,对RF MEMS的发展概况及前景作出评论.

关键词：射频微机电系统、单片微波集成电路、微波多芯片模块

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：8-10