涂陶型吸气热子残气特性及其质谱分析

摘要：

采用美国"英福康"公司生产的QUADREX-100四极质谱仪对一种全新的涂陶型高牢固吸气热子在真空系统中不同状态下的残余气体分析,并与涂Al2O3型吸气热子进行了同种条件对比测试,证明了涂陶型高牢固吸气热子的可实用性.

关键词：吸气热子、质谱、残余气体

分类号：TN107(真空电子技术)

资助基金：国家重点军工配套项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：26-28