微型碳纳米管低压传感器工作性能研究

摘要：

对于X射线管等小型真空器件,其内部真空监测还缺乏可靠的方法.基于碳纳米管的气体吸附影响场电子发射的特性,我们开发了一种微型低压传感器,本工作是对该传感器的场发射性能、传感性能、重复性和应用性进行研究.实验结果表明:合金材料制备的碳纳米管分布均匀、晶体性高,有良好的场发射性能;传感器对氮气和水汽具有传感效应,场发射电流能够随系统内部压力的升高而增加;在同一个压力值点的多次测试表明传感器测量一致性优于10％,能够稳定的工作.对传感器在X射线管的应用测试表明:传感器能够监测X射线管工作时内部真空的变化,可以有效的测量微小真空电子器件内部的真空.

关键词：碳纳米管、吸附、场发射、压强传感

所属期刊栏目：58

分类号：TB383;TH813;O484(工程材料学)

资助基金：国家科学基金61620106006

在线出版日期：2021-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5