10.13385/j.cnki.vacuum.2019.06.11
纳米真空互联大装置(Nano-X)及其应用进展
进入纳米时代后,纳米材料与纳米器件的性能不只取决于块体材料的性质,而更主要是由材料的表、界面性质来决定.为了避免由于表面污染而造成的改变与损伤,薄膜材料通常需要放置于超高真空环境中.本文介绍了纳米真空互联大装置的必要性、功能,以及支持项目和取得的重要进展.
纳米、表面污染、真空环境、真空互联大装置、重要进展
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TB753+.3(真空技术)
国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;科技部项目;科技部项目;先导项目
2019-12-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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