316LN异型真空盒超高真空表面处理工艺的研究

摘要：

第三代同步辐射光源在不同位置需要设计不同形状的真空腔体保证电子束在超高真空(<1.3×10-8Pa)环境下运行.其中异型真空腔体作为第三代同步辐射装置的关键部件之一其制造过程中非常关键问题就是材料的表面处理.然而,针对316LN异型真空盒超高真空的表面处理工艺国内外还没有公开的发表过,对于316LN异型真空盒超高真空的表面处理工艺的研究工作也鲜有报道.因此,本文针对316LN异型真空盒超高真空表面处理工艺提出合理的工艺方案,针对316LN异型真空盒的表面处理工艺设计并组建一套完整的四极质谱残余气体检测分析系统,为316LN异型真空盒超高真空表明处理的研究提供理论依据.

关键词：异型真空盒、超高真空、表面处理、工艺

所属期刊栏目：56

分类号：TB77(真空技术)

资助基金：新型高密度等离子体发生源研究与实验11305217

在线出版日期：2019-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：27-29