片上电子源的研究现状(一)

摘要：

本文主要回顾总结近数十年来片上电子源的研究工作及最新进展,包括场发射片上电子源、内场发射片上电子源以及新型热发射微型片上电子源.本文从这些片上电子源的基本原理、加工制备以及工作性能(包括工作电压、工作真空、发射电流、发射电流密度和发射效率)等方面进行比较,分析各种片上电子源的优劣点,为片上电子源的发展现状做一个简单的总结.

关键词：片上电子源、场发射、内场发射、热发射

所属期刊栏目：56

分类号：TN32(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2019-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：16-26