新型同轴电极结构碳纳米管场发射电离计

摘要：

本文以碳纳米管(CNT)作为阴极电子源设计一种新型的冷阴极电离真空计结构,结构包括场发射电子源、阳极和离子收集极,阳极和离子收集极为同轴圆环结构.利用热化学气相沉积法在金属基底上直接生长碳纳米管,分别制备了4mm×5mm矩形和直径0.1mm圆形两种阴极发射面.碳纳米管阴极具有优异的场发射性能,开启电场1.70 V/μm.在氮气环境下,分别对不同阴极真空电离计结构的真空测量性能进行了研究,真空计在10-7到10-3Pa区间归一化电流(Ii/Ia)与压强表现出良好的线性关系,矩形和圆形发射面阴极对应的真空计其测量灵敏度分别是3.1×10-2Pa-1和1.3×10-2Pa-1.

关键词：碳纳米管、场发射、电离真空计、同轴电极、灵敏度

所属期刊栏目：56

分类号：TN304;TH813;TB772+.3;O462.4(半导体技术)

资助基金：国家科学基金61620106006

在线出版日期：2019-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-15