第十九讲真空溅射镀膜

摘要：

接2017 年第4 期第80 页)
图 84 是自动灭弧 A2K 电源的原理简图,在直流电源和靶之间增加一个称为 SPARC-LE 部件和一个电感线圈,然后用一个脉冲开关控制器来控制电源的运行,串联电感的作用是:当出现一次弧光放电或电子开关动作(中断电流)时,在电感两端将触发一个反电势, 施加一个反向电压, 这个电压将释放引起弧光放电的积累电荷.溅射电压与电感触发电压约为8:1 的关系. 例如:运行中阳极电压为500 V时,反向电压为62 V.如果由于弧光放电引起电压倒向的过程, 称为"自触发"运行模式. 仅仅只是自触发运行模式,对整个溅射过程仍然不够稳定,如果加上电子开关定期地触发反向电压,即使偶然有弧光放电出现,其灭弧功能更加可靠.

机标关键词：真空溅射镀膜

所属期刊栏目：54

分类号：O484;TB4(固体物理学)

在线出版日期：2017-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：78-80