辉光放电发射光谱在材料成分-深度分析中的应用

摘要：

本文首先对辉光放电发射光谱(Glow Discharge Optical Emission Spectrometry-GDOES)基本原理做了简单评述,重点说明了对测量的材料成分-深度实验数据的定量分析.随后介绍了GDOES在材料表面、薄膜和涂层等领域的应用.最后给出了利用MRI模型对GDOES深度剖析数据定量分析的实例.

关键词：辉光放电发射光谱、深度剖面分析、薄膜、涂层、MRI模型

所属期刊栏目：54

分类号：TB44;TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：广东省科技计划2017A010103021

在线出版日期：2017-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：39-46