溅射功率对Zn1-xMgxO薄膜性能的影响

摘要：

用射频磁控溅射制备Zn1-xMgxO薄膜,通过对不同溅射功率制备的薄膜结构和薄膜的室温透射谱和光致发光光谱的分析,得到溅射功率对薄膜结构和形貌的和光学性能的影响.

关键词：射频磁控溅射、Zn1-xMgxO薄膜、透射谱、光致发光谱

所属期刊栏目：54

分类号：O614.41;TB43;O484(无机化学)

在线出版日期：2017-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34