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10.13385/j.cnki.vacuum.2017.05.05

数字式电容薄膜绝对压力变送器的设计研发

引用
模拟式电容薄膜式绝对压力变送器(简称电容薄膜规)已在众多领域成为粗、低真空精确测量的市场主流.随着现代化工业的发展,先进的制造业对真空测量的准确度、稳定性和抗干扰能力,提出了更高的要求.针对电容薄膜规原有的技术瓶颈,本文所研究的数字式电容薄膜规,就是一种很好的改进和完善方案,经过现场试验,达到了理想的技术指标要求,验证了本文提出的数字式电容薄膜规的探索是正确的、可行的.

数字式电容薄膜规、真空测量、抗干扰、远程通讯

54

TB772;TH813(真空技术)

2017-10-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

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1002-0322

21-1174/TB

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