EBPVD电子枪高压放电产生原因分析

摘要：

电子枪是电子束蒸发设备的核心部件,其结构复杂,一旦出现故障,对热障涂层的制备和设备的使用都有影响.出现的故障中,以高压放电现象最为严重.结合电子束蒸发设备以及电子枪工作原理,对生产实际中出现的高压放电现象进行归纳分析,确定高压放电的产生路径,分析路径中设备高压放电现象产生的原因、绝缘类型和造成的影响,提出消除高压放电的解决方案或预防措施,以提高电子束蒸发设备的利用率.

关键词：电子束、电子枪、高压放电、绝缘

所属期刊栏目：54

分类号：TN13;TB43(真空电子技术)

在线出版日期：2017-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-14