多弧离子镀TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜的制备及性能研究

摘要：

采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜.利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究.结果表明:膜层表面均匀,未出现龟裂现象,色泽光亮度好;膜的相结构组成为TiN和Cr2N,随着Cr靶电流的增大,TiN的择优取向由(200)向(111)转变,膜层出现单质Cr;膜层厚度为5.02μm,具有明显多层特征;显微硬度2536 HV;结合力65 N.

关键词：多弧离子镀、TiN/TiCrN/CrN、多元多层复合膜

所属期刊栏目：50

分类号：TG722(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：科技部重大专项;四川省特种材料及制备技术重点实验室经费资助

在线出版日期：2013-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：66-69