10.3969/j.issn.1002-0322.2013.03.018
多弧离子镀TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜的制备及性能研究
采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜.利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究.结果表明:膜层表面均匀,未出现龟裂现象,色泽光亮度好;膜的相结构组成为TiN和Cr2N,随着Cr靶电流的增大,TiN的择优取向由(200)向(111)转变,膜层出现单质Cr;膜层厚度为5.02μm,具有明显多层特征;显微硬度2536 HV;结合力65 N.
多弧离子镀、TiN/TiCrN/CrN、多元多层复合膜
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TG722(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)
科技部重大专项;四川省特种材料及制备技术重点实验室经费资助
2013-07-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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