氮气流量对电弧离子镀CrN薄膜组织结构和性能的影响

摘要：

利用电弧离子镀技术在高速钢基体上于不同氮气流量条件下制备CrN薄膜样品,通过纳米压痕仪、XP-2台阶仪、SEM和XRD测试分析了薄膜的硬度、弹性模量、厚度、表面形貌和物相结构.实验结果表明,氮气流量对CrN薄膜的组织结构和力学性能都具有较为明显的影响.

关键词：电弧离子镀、CrN薄膜、氮气流量、结构、性能

所属期刊栏目：50

分类号：O469(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：国家自然科学基金;天津师范大学大学生创新创业训练计划

在线出版日期：2013-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：63-65