基于PLC和组态软件的透射电镜真空控制系统

摘要：

按照透射电镜对真空系统的控制要求与真空系统的构成,采用集散控制的思想,建立了以PLC为底层核心控制器,组态王作为集中管理软件的控制系统.上位机组态软件通过以太网与下位PLC进行通讯与数据交换,实现了较为完备的透射电镜真空系统的控制,该系统已投入使用,真空度符合要求,运行效果良好.

关键词：透射电子显微镜、真空系统、PLC、组态软件

所属期刊栏目：50

分类号：TP273;TB753(自动化技术及设备)

资助基金：国家科技支撑计划2006BAK03A24

在线出版日期：2013-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-13