复合型便携式真空计校准装置

摘要：

在原有基础上研制出复合型便携式真空计校准装置.将静态比较法、静态膨胀法及动态流量法复合在一台装置上,仅采用一台满量程为1.33 × 105 Pa的电容薄膜真空计作为参考标准,实现较宽的真空度校准范围.实验结果表明,装置的校准范围为105 Pa～10-5 Pa,合成标准不确定度为1.3％～2.5％.装置的外形尺寸为450 mm×400 mm× 750 mm,总重量小于35 kg,在原有校准装置的基础上减小了重量和成本,更适用于许多应用领域中真空计的现场校准.

关键词：校准装置、校准方法、便携式、真空计

所属期刊栏目：50

分类号：TB77(真空技术)

在线出版日期：2013-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

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