一种ICP-MS真空测量系统的研制

摘要：

本文介绍了一种基于C8051F微控制器并应用于电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)的真空测量系统.系统由真空计组、预处理电路、C8051F微控制器、串行接口和上位机组成,能同时测量接口、透镜和四级杆三个部分的真空状态,且具有较高的集成度,紧凑的体积和较低的功耗,经最后实验证实,系统能准确且稳定的测量各个部分的真空度,可为ICP-MS的正常工作提供相应的条件保障.

关键词：真空测量、电感耦合等离子体质谱仪、C8051F微控制器、实时测量

所属期刊栏目：48

分类号：TB771(真空技术)

在线出版日期：2011-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：40-42