大面积PECVD平行板电极间电势差分布均匀性数值研究
应用二维准平面电路模型对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)大面积平行板电极间电势差分布均匀性进行了数值研究.计算结果表明:在等离子体存在的条件下,电极间电势差分布非均匀性与真空下相比大大增加,电极间的电势驻波效应显著增强,在甚高频条件下会有一阶电势驻波节点出现.另外,波长衰减因子对电势差分布非均匀性影响也表明电极间的电势驻波效应在很大程度上是受等离子体辉光条件控制.本文数值计算结果与近来实验报道的相关结果有很好的吻合.
等离子体增强化学气相沉积、电势驻波效应、波长衰减因子
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O451;O53;TB43(无线电物理学)
国家重点基础研究发展计划项目2006CB202602和2006CB202603;国家自然科学基金60506003;南开大学博士启动基金J02031;科技部国际合作重点项目2006DFA62390;国家高技术研究发展计划2007AA05Z436;教育部新世纪人才计划60506003NCET资助的课题
2009-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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