PECVD系统的等离子体诊断及DLC膜的结构和性能研究

摘要：

类金刚石碳膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等显示出良好的应用前景,越来越受到人们的关注.本文首先利用朗谬耳探针对基底附近的等离子体特性进行了诊断,考察了离子电流密度与脉冲电压和工作气压的关系.然后在不同的气体比例下成功的制备出了DLC薄膜.采用拉曼光谱仪、原子力显微镜、纳米压痕仪等设备对薄膜的相结构、表面形貌和机械性能进行了综合分析,并研究了镀膜工艺与薄膜特性的关系.

关键词：等离子体诊断、PECVD、DLC膜、Raman光谱、表面形貌

所属期刊栏目：45

分类号：O484.4(固体物理学)

在线出版日期：2008-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34