真空感应CVI/CVD系统自动化控制技术

摘要：

介绍了真空感应CVI/CVD系统结构、功能.针对真空感应系统干扰强的特点,分析了对该系统进行控制的要点.根据操作工艺设计了基于分布式、模块化控制解决方案.实现了被控量的在线实时测控.开发了真空感应系统专用控制软件,同时介绍了控制系统软件的主要功能.分析了PLC、智能模块、智能仪表与工业控制计算机的通讯机制,并给出了通讯的实现方法.

关键词：真空感应、CVI/CVD、串行通讯、工业控制计算机、监控系统

所属期刊栏目：43

分类号：TP216;TP27(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-32