等离子体化学气相沉积类金刚石碳膜的特性及应用

摘要：

类金刚石 (DLC)膜是含有sp3杂化态的亚稳态非晶碳膜,是具有极高的硬度、化学稳定性和光学透明性的半导体材料.这篇综述介绍了用等离子体化学气相沉积DLC膜的沉积方法、所制备薄膜的特性及应用,最后展望了DLC膜的发展趋势.

关键词：类金刚石碳膜、等离子体化学气相沉积、特性、应用

所属期刊栏目：43

分类号：TB79;TB43(真空技术)

在线出版日期：2006-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：14-17