射频等离子系统中微弧放电的解析模型

摘要：

最近我们在实验中发现:射频等离子体系统中的高电位可以引发微弧放电,这种微弧放电现象不是发生在射频系统的输入极上而是发生在接地极上.这种相对于电极呈非对称分布的微弧放电现象不是我们期待的结果,也不能用现有的理论来解释它.本文在Child-Langmuir鞘层模型理论和电流连续性理论的基础上,推导建立了一个用于表述射频等离子体系统中的这种非对称型微弧放电现象的解析模型.从我们的推导过程可以发现鞘层内外的电位差取决于接地极鞘层面积与输入极鞘层面积之比.当接地极的鞘层面积大于输入极鞘层面积时,接地极鞘层电位差的最小值成为高电位,从而引发电弧放电.而输入极鞘层电位差的最小值不发生变化.这个模型和推导结果与实验现象和PIC仿真数据有较好的一致性.

关键词：射频、等离子体、微弧放电、解析模型

所属期刊栏目：43

分类号：O461(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：国家留学回国人员科研启动基金留金出[2002]3034号;悉尼大学校科研和教改项目

在线出版日期：2006-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：9-13