10.3969/j.issn.1002-0322.2003.01.006
磁控溅射中的海绵卷绕设备研究
在大量试验的基础上,总结了磁控溅射中海绵的传动特性,设计了微张力海绵卷绕系统,建立了传动控制的数学模型.经大量试验和使用证明,该设计满足了磁控溅射中海绵卷绕的要求.
物理气相沉积、磁控溅射、海绵、卷绕机
TB43(工业通用技术与设备)
国家高技术研究发展计划863计划
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
29-32
点击收藏,不怕下次找不到~
10.3969/j.issn.1002-0322.2003.01.006
物理气相沉积、磁控溅射、海绵、卷绕机
TB43(工业通用技术与设备)
国家高技术研究发展计划863计划
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
29-32
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn