石英晶体表面溅射成膜及频率偏离特性的研究

摘要：

提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成TiN薄膜, 研究了TiN薄膜的性能及其频率偏离特性. 对生物检疫和液体粘度等动态测定有广阔的应用前景.

关键词：磁控溅射、石英晶体、频率偏离

分类号：TH836

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-28