多层复合真空离子镀膜技术的新发展

摘要：

本文回顾了多弧--磁控溅射多功能离子镀膜设备的结构和功能,并且对该设备在氮化钛掺金离子镀(IPG)方面的典型应用,做了较为详细的膜层性能分析.同时,本文又对近年来一种新型的多功能离子镀设备--复合式离子镀膜设备的结构及特点做了介绍,给出了该类型设备的典型应用场合,并且向读者介绍了使用该设备镀制的金属/金属陶瓷多层膜的优异性能.

关键词：多功能、离子镀、多层镀

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：10-12