锂铁氧体表面沉积Cu-Ti复合金属波导膜系的工艺

摘要：

采用磁控溅射镀膜方法,在锂铁氧体材料表面,制备了Cu-Ti复合金属波导膜系.本文简单介绍了设备的改造特点,对整个工艺过程进行了分析研究,对制备的Cu-Ti复合金属波导膜系进行了性能测试,结果表明,用该工艺所制备的波导膜系性能指标达到微波器件的要求.

关键词：锂铁氧体、Cu-Ti复合金属波导膜系、工艺

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5-7