氧化锌的拉曼频移-应力定量关系研究

摘要：

在MEMS器件制备过程中,对微区域的应力状态测量与监控至关重要.建立了氧化锌材料的拉曼应力测量技术理论,推导出了氧化锌材料的拉曼频移-应力分量解析关系式.ZnO单晶体属于6 mm点群结构具有两个A1、E1和E2共六中线性振动模式.从微扰势出发并结合胡克定律出发,推导出了A1 、E1和E2模的拉曼位移变化与应力分量之间的关系,在这些方程式中,共包含20个未知参数.最后给出了氧化锌材料的拉曼频移-应力关系式,为ZnO残余应力测量提供理论依据.

关键词：氧化锌、拉曼频移、应力

所属期刊栏目：29

分类号：TE112(石油、天然气地质与勘探)

资助基金：浙江省水利厅科技计划基金资助项目RC1550

在线出版日期：2017-07-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：65-67