石墨基底上制备TaC纳米颗粒的研究

摘要：

利用热丝化学气相沉积(HFCVD)设备中的钽丝为加热源和钽源,在石墨基底上直接制备TaC纳米颗粒,并研究不同热丝功率对TaC颗粒尺寸及其致密度的影响.实验结果表明:当热丝功率为1 600 W时,TaC颗粒致密度低,颗粒尺寸较小,约为14 nm;随着功率逐渐增大,TaC颗粒致密度逐渐增高,颗粒尺寸缓慢增大;当功率增大到2 400 W时,TaC颗粒致密度高且形貌规则,颗粒尺寸增加到35 nm左右.研究结果为TaC纳米颗粒的制备提供了新方法.

关键词：热丝化学气相沉积、石墨、TaC纳米颗粒

所属期刊栏目：50

分类号：TQ135.13

资助基金：国家自然科学基金;国家重点研发计划;浙江省重点研发计划

在线出版日期：2022-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：671-678