BCB砂轮ELID磨削单晶硅工艺实验研究

摘要：

ELID磨削主要采用铸铁结合剂砂轮,但是该砂轮在使用过程中有明显的弊端,如砂轮难以制造,价格也比较高,且无法保证加工表面的清洁度.将新型环保型竹炭结合剂砂轮(BCB砂轮)与ELID磨削技术相结合,可开发一种使用简便、制作简易、并且可以达到优良的加工表面质量的新型超精密加工方法与技术.通过BCB砂轮进行单晶硅ELID磨削工艺实验,研究磨削参数对单晶硅ELID磨削表面质量,切向磨削力的影响.实验结果显示:BCB砂轮进行单晶硅ELID磨削加工过程中磨削性能良好,可获得高效率、高质量表面加工效果.

关键词：ELID磨削、BCB砂轮、表面质量、切向磨削力

所属期刊栏目：44

分类号：TH161+.1

资助基金：国家自然科学基金资助项目50775207

在线出版日期：2016-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：275-278,320